![Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1 — М. А. Королев](https://knigi-lib.com/img/books-2/6511122.jpg)
М. А. Королев Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
- Жанр: Техническая литература, Учебно-методические пособия, Электроника
- Автор: М. А. Королев
- Год издания: 2020
- ISBN: 978-5-00101-814-8, 978-5-00101-813-1
- Издательство: Лаборатория знаний
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Похожие книги